红外光谱法分析光刻胶的主成分
2024-10-2556光刻胶工艺和质量直接关系微电子制造的性能和可靠性,其主成分及杂质分析是质量控制和研发的重要内容。红外光谱仪是分析材料成分的有力工具,具有测试速度快、成本低、结果可靠等优点，可为光刻胶的成分鉴别提供重要可靠数据支撑。
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